產品描述

主要技術指標：

★    爐管數：      1～4管

★    配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英吋)

★    恆溫區長度：  760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)

                    760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

★    單點穩定性：  ±1.0℃/24h (300～800℃)

                    ±0.5℃/24h (800～1280℃)

★    氣源路數：    ≤7路，可配恆溫源瓶、氫氧合成點火器

★    氣體控制：    浮子/質量流量計

★    懸臂舟參數：  速度：    20～1000 mm/min

                         行程：2000 mm

                        定位精度：±1 mm 

                         載荷：17 Kg

★    超淨工作台：  淨化等級：100級（萬級廠房）

    噪音：    ≤62dB（A）

    振動：    ≤3μm