1、 工作溫度：800℃
2、 石英管內徑：Φ120mm/管
3、 石英管壁厚：大於3mm
4、 工作溫度：室溫~800℃
5、 等溫區精度及尺寸範圍（300℃以上）：軸向±1℃/Φ80mm（靜態）
徑向±1℃/500mm（靜態）
6、 單點溫度穩定性：（300℃以上，等溫區內任意一點）±1℃/24h
7、 升溫斜變能力：
可控升溫速度：15±1℃/min
降溫速度（300℃~800℃）≥1℃/min
8、 升溫功率：12KW/管
9、 保溫功率：4KW/管
10、 氣路系統：自動控制三路氣路（氫氣、氧氣、氮氣）的流量。
11、 氣體流量控制精度：±2%
12、 氣體過濾器規格：0.22um
13、 電源：380V、50Hz、30KVA
14、 冷卻水：1-2Kg、20-30升/min、水溫不超過30℃
15、 用戶N2，H2和O2氣源壓力：0.6kg—3kg
16、 氮氣、氧氣、氫氣、壓縮空氣進氣管採用3/8”內拋光不鏽鋼管。
17、 設備顏色：主框架為墨綠色、護板為微機色。
18、 外形尺寸（不含控制櫃）：長×寬×高=2200×650×1700mm（需圖紙確認）
19、 整台機器外觀漂亮，做工精細。
20、 真空度：5×10-2毫巴（工作溫度下，15分鐘內）。
21、 測溫熱偶：採用K型分度測溫熱電偶。
