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擴散爐
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主要技術指標：
★ 爐管數： 1～4管
★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英吋)
★ 恆溫區長度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)
760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
★ 單點穩定性： ±1.0℃/24h (300～800℃)
±0.5℃/24h (800～1280℃)
★ 氣源路數： ≤7路，可配恆溫源瓶、氫氧合成點火器
★ 氣體控制： 浮子/質量流量計
★ 懸臂舟參數： 速度： 20～1000 mm/min
行程：2000 mm
定位精度：±1 mm
載荷：17 Kg
★ 超淨工作台： 淨化等級：100級（萬級廠房）
噪音： ≤62dB（A）
振動： ≤3μm
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產品圖片
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